c
少子寿命测试仪功能特点 准稳态光电导法(QSSPC) 非接触式少子寿命测量 可测单晶多晶硅片少子寿命,电阻率, 陷阱密度,发射较饱和电流密度,和隐含电压 检测晶片加工过程中重金属污染 测量范围:0.1μs~大于10ms 可用频谱:白光和红外照明 传感器领域:40毫米(直径) 样本标准直径:40–210 mm (尺寸较小,也可测量) 硅片厚度范围:10–2000 μm (其他厚度可衡量) 仪器尺寸:22.5 cm W x 28 cm D x 57 cm H 来源:少子寿命测试仪 **回路电阻测试仪 淀粉含量测试仪